cacheというテーブル内のデータは削除しても大丈夫ですか？

cache_form 以外は純粋なキャッシュなので削除しても差し支えありません。ただ、メニューキャッシュなど、キャッシュされている前提のものを頻繁に削除すると再構築のためにリソースを要すので、パフォーマンス問題につながります。

Meta tag については残念ながら詳しく分かりませんが、metatag モジュールに属すもので、ノードごとのメタタグを格納しているようであれば問題ないのでは、と推測します。

とある大企業のアクセス数の非常に多いサイトでは、膨れ上がる特定のキャッシュテーブルを cron で定期的に削除していたところもあります。

サイトの種類やVarnish などのフロントエンドキャッシングの有無にもよりますが、一般にページキャッシュやブロックキャッシュは有効にしておいたほうがパフォーマンスの向上が見込まれます。

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すべてのキャシュをクリアボタンを押すと
不要なキャッシュのデータは削除されるみたいです。

バックアップのデータをみるとかなり容量が減っていました。
これからはバックアップを取る前にキャッシュをクリアすることを心がけます。
お騒がせいたしました。